用于晶圆清洗

项目

限值

项目

限值

温度

22±1℃

硝酸盐

0.05

压力

0.3~0.5mpa

亚硝酸盐

0.05

流量

12m³/h

磷酸盐

0.05

电阻

≥18.2MΩ

硫酸盐

0.05

TOC

＜2PPb

铝

0.02

DO

10PPb

钡

0.02

Particle

0.05-0.1Um  1000Pcs/L

硼

0.1

0.5-0.1Um   350Pcs/L

钙

0.02

0.2-0.5Um ＜100Pcs/L

铜

0.02

0.5-1.0Um ＜50Pcs/L

铁

0.02

1.0Um     ＜25Pcs/L

铅

0.02

PH

6.3-7.5

锂

0.02

菌落

0.03 cfu/ml

镁

0.02

总硅

3PPb

锰

0.02

溶解硅

0.5PPb

镍

0.02

铵离子

0.1

钾

0.02

氯离子

0.05

钠

0.02

氟离子

0.05

锌

0.02

锶

0.02